金剛石砂輪的性能改觀對于藍寶石磨削技術(shù)的積極影響

　　為了改觀金剛石砂輪的性能及磨削后藍寶石的表面質(zhì)量，國內(nèi)外學(xué)者對藍寶石磨削過程及砂輪的性能做了很多研究。對于樹脂金剛石砂輪的研發(fā)及性能的提高，國內(nèi)外的研究主要集中在超硬磨料的處理、樹脂改性、性能對比以及磨削機理等學(xué)術(shù)研究領(lǐng)域。藍寶石具有優(yōu)良的物理性能、光學(xué)性能、電學(xué)性能和力學(xué)性能，廣泛應(yīng)用于窗口、照明和半導(dǎo)體襯底等領(lǐng)域。

　　同時作為氮化鎵外延生長的襯底材料，在完成電極制備工藝后，需要對藍寶石襯底進行背面減薄，以提高器件的散熱性能，磨削技術(shù)在快速減薄中具有去除速率高及可控性好等優(yōu)勢。藍寶石快速減薄磨削主要使用金剛石砂輪，其中樹脂結(jié)合劑金剛石砂輪因其原料來源豐富、成型簡單、自銳性好、效率高、成本低等優(yōu)點在金屬、樹脂、陶瓷3大種類砂輪中占百分之60~百分之70份額。砂輪的性能一定程度上決定了藍寶石減薄磨削中的磨削效率及磨削后藍寶石表面質(zhì)量，而砂輪的磨損形式及砂輪的磨損過程決定磨削過程的穩(wěn)定性。

　　樹脂結(jié)合劑砂輪藍寶石表面質(zhì)量優(yōu)于金屬結(jié)合劑砂輪加工的表面質(zhì)量，且磨削速度為10.5 m/s時更易獲得質(zhì)量較高的磨削表面。Zhiqiang Liang和Dongxi Lv等研究了樹脂結(jié)合劑金剛石砂輪在單晶藍寶石超聲輔助磨削（EUAG）中的磨損機理。關(guān)昂通過制作MgO、Fe2O3軟磨料樹脂結(jié)合劑砂輪，使磨削后藍寶石可以獲得更加低的表面粗糙度且沒有裂紋、崩邊以及磨痕現(xiàn)象。但是，缺乏以藍寶石為磨削對象的樹脂金剛石砂輪的磨損機理、磨損過程以及對藍寶石表面質(zhì)量的影響的相關(guān)研究。